电容式传感器

电容式传感器为非接触式测量仪器, 能够对任何导电目标的位置和/或位置变化进行高分辨率测量。高性能电容式传感器的纳米级分辨率使其成为目前纳米技术领域不可或缺的产品。另外,还可将其用于测量非导电目标的位置或其他特性。

电容式传感器产品选择器

 

Elite 系列

最佳性能
模块化设计

elite 电容式传感

紧凑型驱动器

绝佳性能
体积小巧

cd 电容式传感器

CPA100

模拟接近传感器
成本低

cpa100 电容式传感器

测量范围

10 微米 - 6 毫米 25 微米 - 2.5 毫米 50 微米 - 6 毫米

标准分辨率*
@ 15 kHz

0.004%* 0.008%* 0.03%*

最佳分辨率 @ 15 kHz

0.4 纳米 3.6 纳米 150 纳米

线性*

0.2% 0.2% 非线性

最大带宽

15 kHz 15 kHz 15 kHz

零位/补偿调节

增益调节

设定点/开关
输出

热漂移*

0.04% F.S./°C 0.04% F.S./°C 0.2% F.S./°C

测量范围 LED 指示灯

其他特征

可选的信号处理
和仪表模块

便捷的 DAQ 连接

嵌入式/OEM 设计 远程零位和增益调节

*取决于探头和测量范围

 

技术说明

电容式传感器操作与优化

了解传感器分辨率规格及性能

Elite 系列电容式传感器和系统elite 系列

为满足特殊应用及开箱即用的可用性,Elite 系列传感器提供灵活的自定义配置。

Elite 系列 CPL190 和 CPL290 电容式传感器驱动器模块

CPL 系列电容式传感器模块是具有顶级性能的传感器。分辨率可低至亚纳米级。前面板测量范围指示灯和粗泛、精细调零模式使其更易于设置。

采用单一探头对 CPL190 进行单范围校准。

可选择单一探头或两个不同探头对 CPL290 进行双范围校准,实现终极的灵活性。

电容式传感器

CPL190 电容式传感器 CPL290 电容式传感器

 

出口规定

由于 Elite 系列具有较高的分辨率,因此向某些国家出口时需办理出口许可证

规格

标准规格。分辨率和线性度取决于探头、测量范围及带宽。更多细节,请参阅探头和测量范围

分辨率

0.002% - 0.004% F.S.
标准型

带宽 (-3db)(PCB Dip 开关)

15 kHz、10 kHz、
1 kHz、100 Hz

线性度

0.2%F.S.

误差范围

0.3%F.S.

最大漂移

0.04%F.S./°C

BNC 输出电压

±10 V

BNC 输出阻抗

最大 0 Ω,15 mA

后面板 National Instruments 接口连接器 输出电压

压差 ±10 V

操作温度

4°C-50°C

 

mm190 仪表模块Elite 系列 MM190:信号处理和仪表模块

所有欧卡模块均封装在 1、2、3、6 或 8 通道系统内,取决于测量通道的数量和支持模块的排序。

规格

BNC 输出范围误差:

-3.0%

内部范围误差:

0.2%

差分误差:

0.2%

叠加误差:

0.2%

追踪相对于频率的 TIR 误差:
(建议不要低于 100Hz)

10 Hz:-15.0%
100 Hz:±0.3%
1 kHz:±1.5%
5 kHz: ±4.0%

相对于输入频率的 TIR 误差:

DC:-15.0%
1 kHz:±1.3%
5 kHz: ±4.0%

峰值减弱:

1 mV/15 秒

BNC 输出阻抗

150 Ω

欲了解更多详细信息,请与我们的代表联系,或查看我们的产品目录英文网站

电容式传感器:紧凑型驱动器
紧凑型驱动器电容式传感器多通道驱动器

出口规定

由于紧凑型驱动器具有较高的分辨率,因此向某些国家出口时需办理出口许可证

规格

标准规格。实际值取决于探头和校准。更多细节,请参阅探头和测量范围

分辨率

0.008% F.S. RMS
一般

带宽

高达 15 kHz(-3dB)

误差范围

0.3% F.S.

最大漂移

0.04% F.S./°C

输出电压

±10 V

输出阻抗

0 Ω

操作温度

4°C-50°C

输入电源

±15 VDC @ 50 mA/通道

更多详细信息,请联系我们代表或查阅我们的产品目录英文网站

电容式传感器:CPA100 和 CPA101
精密模拟临近开关

CPA100 电容式传感器

出口规定

由于 CPA100 具有较高的分辨率,因此向某些国家出口时需办理出口许可证
CPA101 具有不同的分辨率规格,可直接运输,而不会因办理出口许可证导致延误。

规格

一般规格。实际值取决于探头和校准。

分辨率
@ 15 kHz,中档

CPA100:0.03% RMS
一般

CPA101:RMS 0.3 微米或更高

带宽

15 kHz (-3dB)

线性

非线性

最大漂移

0.2%F.S./°C

模拟输出

0-10 VDC,0 Ω

设定点输出

固态开关闭合:
最大 30 VAC/60 VDC
通态:最大 2.5 Ω,100mA
断态漏电流:最大 10µA

输出阻抗

0 Ω

操作温度

4°C-50°C

输入电源

15-24 VDC,2.5 W

更多详细信息,请联系我们的代表,或查阅我们的产品目录英文网站

电容式探头系列电容式传感器:探头

探头检测区域

探头检测区域决定探头的测量范围。

检测区域越大 = 测量范围越大

探头传感器

检测区域以字母代号表示,结合探头外壳类型组成探头型号编号,例如 C30-C(C30代表 外壳类型和 C代表 尺寸检测区域)。

目标区域直径必须是检测区域直径的 130%,否则必须执行定制校准。

探头操作环境

4°C-50°C

探头可在较低温度下使用,包括低温环境中,如为防止冷凝(霜冻)而专门针对目标温度范围对系统进行校准的情况。

在订购探头时可指定为真空兼容型。

探头外壳类型

1 密耳 = 0.001"

类型

外壳 | 长度

电缆出口

型号

尺寸

检测区域 - 直径

测量范围

Elite 系列


微米
密耳

紧凑型
驱动器


微米
密耳

CPA100


微米
密耳
8 毫米圆柱形 C30 探头 41 毫米 直筒形 C30

8 毫米

可用于 B 或 D 检测区域

B 检测区域
B - 3.2 毫米

50, 500, 1250
2, 20, 50
50, 500
2, 20
500, 1250
20, 50
C36 探头 24 毫米 直筒形 C36 D
D - 2.0 毫米
10, 50, 250, 500
0.4, 2, 10, 20
50, 250
2, 10
500, 1250
20, 50
5 毫米圆柱形 C3 探头 28 毫米 直筒形 C3

5 毫米

可用于 D、E、或 F 检测区域

D
D - 2.0 毫米
10, 50, 250, 500
0.4, 2, 10, 20
50, 250
2, 10
250, 500
10, 20
C5 探头 16 毫米 直筒形 C5 E
E - 0.8 毫米
25, 100
1, 4
100
4
C6 探头 16 毫米 90° C6 F
F - 0.5 毫米
10, 50, 80
0.4, 2, 3
50, 80
2, 3
3/8" 圆柱形 C1 探头 1.6" 直筒形 C1

3/8"

可用于 A 检测区域

A
A - 0.220"
50, 500, 2000
2, 20, 80
50, 500
2, 20
500, 2000
20, 80
C2 探头 0.75" 直筒形 C2
长方形 R2 探头   直筒形 R2

2.25" x 1.75"

可用于 H 检测区域

H
H - 0.750"
2500, 6000
100, 250
2500
100
6000
250

更多详细信息,请联系我们的代表或查阅我们的产品目录英文网站

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